| 产品 | 流量(m3/h) |
纯度 | 出冷箱压力(MPaG) | 备注 |
| 氧气 | 15000 |
≥99.6% O2 |
0.015 |
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| 氮气 | 15000 |
≥99.99% N2 |
0.012 |
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| 液氧 | 200 |
≥99.6% O2 |
0.1 |
|
